新しい GEMÜ CleanStar High

GEMÜ C60 CleanStar、空気圧操作および GEMÜ C67 CleanStar、手動操作、アクチュエーター サイズ 4。 (画像出典: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG):

半導体業界のバルブ設計に対する要求は常に増大しています。 マイクロチップ上の構造がますます小さくなると、粒子を含まない最高純度の流体が必要になります。 ここ数年、ウェーハ径の大型化に伴い、必要なプロセスメディアの量も同時に増加しています。 GEMÜ は、これらの開発の両方を考慮して、新しいサイズのアクチュエータを発売します。 新しいアクチュエータ サイズ 4 は、公称サイズ 1 1/2 インチと 2 インチで利用可能で、媒体接液部は PFA および PTFE TFMTM で作られています。 この組み合わせにより、大量の媒体を輸送でき、半導体製造の供給および流通レベルでも超高純度のバルブ設計を使用できるようになります。 コンパクトな GEMÜ CleanStar 設計は、優れた流量/設置面積比を同時に保証し、将来的には GEMÜ 600 HP および GEMÜ 677 HP/HPW ダイヤフラム バルブを置き換えることになります。

GEMÜ CleanStar: 実証済みの設計が新しいアプリケーションを征服します GEMÜ CleanStar シリーズの利点は数多くあります。 中央ユニオンナットは、アクチュエーターとバルブ本体の間に信頼性の高い接合部を形成し、金属部品を完全に使用せずに接合します。 堰の設計 (堰スタイル) により、低応力の媒体チャネリングが保証され、デッドレッグが最小限に抑えられ、流れの方向が指定されません。 外装部品にはPVDFを使用しているため、非常に優れた耐薬品性を示します。 バルブを柔軟に取り付けるための漏れ検出穴と長穴がすでに本体設計に組み込まれています。 このシリーズにはポジションインジケーターも標準装備されています。 これらすべての利点は、新しいアクチュエータ サイズ 4 のスケールに関して採用されています。より大きな公称サイズのおかげで、GEMÜ はすでに、供給および流通レベル (施設およびサブファブ) で顧客向けに指定された製品の利点をすべて活用しています。半導体製造のこと。

出典: GEMÜ Gebr. ミュラー アパラテバウ GmbH & Co. KG